Especificación
Titanium Tube Target es una forma cilíndrica de material de titanio que se utiliza principalmente en procesos de pulverización catódica y deposición de películas delgadas-. Al igual que los objetivos de placa de titanio, sirven como objetivo para la deposición de películas de titanio sobre diversos sustratos, pero su forma tubular los hace adecuados para aplicaciones específicas donde se requieren objetivos cilíndricos para una pulverización o recubrimiento más eficiente.
Titanium Tube Target es un cilindro o tubo hueco de titanio de alta-pureza, diseñado para servir como material fuente consumible en una forma especializada de pulverización catódica con magnetrón, un proceso de deposición física de vapor (PVD). Su función es erosionarse uniformemente mediante bombardeo iónico para que sus átomos puedan formar una capa delgada y consistente sobre un sustrato.
Especificación
Grados comunes
Titanio comercialmente puro (ASTM B338 Gr1 o Gr2), Titanio-6Aluminio-4Vanadio (ASTM B338 Gr5/Ti-6Al-4V).
Pureza
Para Gr1/Gr2, el contenido de titanio suele ser mayor o igual al 99,5 %. Para las aleaciones, la composición cumple con las normas ASTM.
Control de impurezas
Control estricto sobre elementos intersticiales como oxígeno (O), nitrógeno (N), carbono (C) e hidrógeno (H) para garantizar el rendimiento.
Dimensiones físicas y tolerancias
Diámetro exterior (DE)
Personalizable, rango común de 50 mm a 200 mm.
Diámetro interior (DI)
Determinado por el diámetro exterior y el espesor de la pared.
Espesor de la pared
Normalmente entre 3 mm y 15 mm, según la aplicación y el diámetro.
Longitud
Longitudes estándar personalizables de hasta 3000 mm.
Tolerancias dimensionales
| Tolerancia sobredimensionada | ±0,5mm |
| Tolerancia del espesor de la pared | ±5% a ±10% |
| Rectitud | < 1.0 mm per meter |
| Perpendicularidad de las caras finales | Especificado según sea necesario. |
Propiedades metalúrgicas y mecánicas
Densidad
Mayor o igual al 98,5% de la densidad teórica.
Microestructura
De grano fino-, uniforme y libre de defectos como porosidad, grietas e inclusiones.
Tamaño de grano
Normalmente ASTM 6.0 o más fino.
Calidad de la superficie
Calidad de la superficie
Acabado superficial
Mecanizado hasta obtener una superficie lisa, normalmente con una rugosidad (Ra) inferior o igual a 1,6 µm o mejor.
Condición
Limpio, seco y libre de aceites, grasas, óxidos y otros contaminantes. A menudo se suministra con una capa protectora o envasado al vacío-.
Proceso de fabricación
Fabricado a partir de barras forjadas o laminadas-en caliente, seguido de mecanizado, taladrado y bruñido de precisión para lograr las dimensiones finales y el acabado superficial.
Totalmente recocido para aliviar las tensiones internas.
Ventaja clave
Mayor utilización de materiales:El principal motor económico. Se utiliza una mayor cantidad del costoso titanio antes de que sea necesario reemplazar el objetivo.
Vida operativa más larga:Reducción del tiempo de inactividad para cambios de objetivos.
Plasma más estable y tasa de deposición:Conduce a una calidad de película más consistente en tiradas de producción largas.
Mejor para aplicaciones de alta-potencia:La forma cilíndrica y la rotación facilitan una refrigeración más eficaz.
Solicitud
Objetivos de tubo de titanio se prefieren en industrias que requieren un recubrimiento de alto-volumen, uniforme y rentable-eficiente.
Vidrio arquitectónico y automotriz:Depositar titanio como capa de adhesión para capas posteriores de plata o nitruro en vidrio energéticamente-eficiente de baja-E (baja-emisividad).
Electrónica y embalaje flexibles:Recubrimiento de redes de polímeros para células solares, películas conductoras transparentes y envases médicos y alimentarios de alta-barrera.
Recubrimiento web:Recubrimiento continuo de rollos de material con fines decorativos, funcionales u ópticos.
Pantallas planas-de área grande:Para revestimientos en paneles de TV, monitores y pantallas táctiles.
Herramientas industriales:Aplicar revestimientos-de nitruro de titanio (TiN) resistentes al desgaste en lotes de herramientas o componentes.
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